ACERO LEAL, Mª CRUZ;ESTEVE TINTó, JAUME;PLAZA PLAZA, JOSé ANTONIO;LORA-TAMAYO D'OCóN, EMILIO
El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el "Diario del proceso". Para una mayor compresión, esta segunda parte se refuerza con un conjunto de videos, en los cuales se muestran las etapas más importantes en el proceso de fabricación de microacelerómetros.
